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半導(dǎo)體制造設(shè)備
金剛線線切機/截斷機
TCSS-200型雙工位線切機
設(shè)備型號
TCSS-200A型單工位線切機
TCSS-200B型雙工位線切機
TCSS-200L型單線截斷機
適用范圍
光學(xué)玻璃、石英玻璃、藍(lán)寶石等；
半導(dǎo)體晶硅；
碳化硅、氮化鎵等第三代半導(dǎo)體材料；
稀土永磁；
壓電陶瓷、磁性陶瓷、光學(xué)陶瓷、石英陶瓷等；
其他非金屬硬脆材料
加工精度
| 項目 | TCSS-200B型雙工位線切機 | TCSS-200A型單工位線切機 | TCSS-200L型單線截斷機 |
| 平面度(mm) | ≤0.03 | ≤0.03 | ≤0.05 |
| 平行度(mm) | ≤0.03 | ≤0.03 | ≤0.05 |
| 一致性(mm) | ±0.05 | ±0.05 | ±0.05 |
| 表面粗糙度(Ra) | ≤0.5 | ≤0.5 | ≤0.6 |
| 切縫寬度偏差 | ±5% | ±5% | ±5% |
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